Исследовательские спектрофотометры Cary-4000, Cary-5000, Cary-6000i и Deep UV компании Varian B.V.
Спектрофотометры Cary-4000/5000/6000i/Deep UV были разработаны компанией Varian в 2002г.для замены предыдущих моделей Cary-400 и Cary-500. В новом поколении приборов используются последние достижения в области электроники, что позволяет проводить уникальные измерения, невозможные раньше.
Cary-4000
Спектральный диапазон от 175 до 900 нм.
Наилучшие фотометрические характеристики обеспечиваются новой разработкой Varian -
Optical Isolation System,
которая максимально
устраняет шум и паразитный свет.
Примерная цена с НДС: $50000
Cary-5000
Спектральный диапазон от 175 до 3300 нм.
Используемая в приборе технология PbSmart™ оптимизирует характеристики
PbS-детектора в режиме реального времени, уменьшая шум и улучшая линейность. Это позволяет достигать уникальных результатов в различных
областях применения – от определения характеристик светофильтров до определения пропускания волоконной оптики и делает
Cary-5000 идеальным референсным прибором для проверки характеристик других спектрофотометров.
Примерная цена с НДС: $76000
Cary-6000i
Спектральный диапазон от 175 до 1800 нм.
Детектор на арсениде индия и галлия (InGaAs) обеспечивает уникальную чувствительность и
оптическое разрешение в ближнем ИК-диапазоне в сочетании с отличными характеристиками Cary-5000 в УФ-диапазоне. InGaAs детектор
обеспечивает лучшее соотношение сигнал/шум, повышенную
скорость сканирования и большее оптическое разрешение в диапазоне 175-1800 нм в сравнении с обычным PbS детектором.
Основная область применения - полупроводниковая
промышленность и системы телекоммуникаций.
Примерная цена с НДС: $96800
Deep UV
Спектральный диапазон от 140 до 260 нм.
Прибор для работ в области дальнего ультрафиолета (до 140 нм) с
оптикой с покрытием из фторида магния и специализированным ФЭУ,
боксом с инертной атмосферой (продувка азотом, рециркуляция),
приставкой VW с покрытием MgF, системой транспортировки проб с
держателем пленок, специализированными программами ADL для конкретных задач.
Основная область применения - микролитография и полупроводниковая промышленность.
Оптическая схема: Двухлучевая, два наклонных монохроматора Литтроу 2 х 40 см, две двухсторонние дифракционные решетки с фокусным расстоянием 400 мм, Optical Isolation System, устраняющая шум и паразитный свет.
Оптический диапазон: 175 – 900 нм (Cary 4000), 175 – 3300 нм (Cary 5000), 175 – 1800 нм (Cary 6000i),
Детекторы: высокоточный фотоумножитель R928 и охлаждаемый блИК детектор на основе InGaAs (Cary 6000i) или PbS (Cary 5000), PbSmart-технология оптимизации параметров детектора в режиме реального времени,
дейтериевый и галогенный (вольфрам) источники света, дополнительная ртутная лампа для калибровки,
LockDown механизм точной и быстрой установки приставок без использования инструментов и необходимотсти длительной юстировки,
оптика Шварцшильда,
программируемая щель от 0.01 до 5 нм с шагом 0.01 нм (УФ-вид), от 0.04 до 20 нм (блИК), время интегрирования сигнала от 0.033 до 999 с,
максимальная скорость сканирования до 2000 нм/мин (УФ-Вид) и до 8000 нм/мин (блИК), нерегистрирующая скорость сканирования до 16000 нм/мин (УФ-Вид) и 64000 нм/мин (блИК), шаг от 0.005 до 1.111 нм (УФ-Вид), от 0.05 до 11.1 нм (блИК), частота сбора кинетических данных 1800 точек/мин.
Центральный компьютерный контроль (Cary WIN, Cary GRAMS, ADL).
Производство сертифицировано по ISO 9001.
Cary-5000 | Cary-6000i | |
Рассеивание света, %T |
0.00008 (220 нм, 10 g/l NaI), 0.00008 (370 нм, 50 mg/l NaNO2),
<1 (200 нм, 12 g/l KCL), <1 (370 нм, 0.25 g/l K2Cr2O7) 0.0002 (1420 нм, Н2О, 1 cм) 0.00045 (2365 нм, CНCl3, 1 cм) |
0.00008 (220 нм, 10 g/l NaI), 0.00008 (370 нм, 50 mg/l NaNO2),
<1 (200 нм, 12 g/l KCL), <1 (370 нм, 0.25 g/l K2Cr2O7) 0.0001 (1420 нм, Н2О, 1 cм) |
Абсолютная погрешность установки длин волн, нм | ± 0.1 (UV-Vis), ±0.4 (NIR) | ± 0.1 (UV-Vis), ±0.2 (NIR) |
Воспроизводимость установки длин волн, нм | < 0.0025 (UV-Vis), <0.1 (NIR) | |
Фотометрический диапазон, A | 8 (с аттенюатором) | |
Фотометрическая точность, A | ± 0.0003 (UV-Vis-NIR, метод двойной апертуры) | |
Фотометрическая воспроизводимость, |
< 0.0008 (1 A, фильтр
930D, 590 нм, время усреднения 2 с),
|
|
Фотометрический
шум, A
(500нм, время интегрирования сигнала 1с) (1500нм, время интегрирования сигнала 1с) |
0.00003(0А),0.00005(1A),0.0001(2А),0.0003(3А), 0.0008(4А),0.002(5А),0.005(6А) 0.00002(0А), 0.00005(1A) 0.0005(2А) 0.004 (3A) |
0.00003(0А),0.00005(1A), 0.0001(2А),0.0003(3А), 0.0008(4А),0.002(5А),0.005(6А) 0.00002(0А),0.00005(1A) 0.0001(2A) 0.001(3A) |
Цены на оборудование VARIAN B.V.
Дополнительная информация:
Тел.(095)740-5406